1、微
传感器与微机电系统
微机电技术
MEMS技术是以微电子、微机械与材料科学为基础，研究、设计、制造具有特定功能的微型装置的一门科学。
传统的机械系统
原动部分：提供动力源
传动部分：负责把动力传给工作部分
工作部分：完成预期动作或预期轨迹
控制部分：如数控机床的控制电路
理想的微机电系统
微机电系统
定义∶
微机电系统（micro-elelctro-
MEChanical system，MEMS）是指采用微机械加工技术可以批量制作的，集微型传感器、微型机构、微型执行器以及
信号处理和控制电路、接口、通信等
模块于一体（一般为硅基底材料）的微型器件或微型系统。
主要组成部分∶
● 微传感器：通过对机械、热、生物、化学、光学、电磁等现象的测量，从外界环境中获取信息
● 微执行器：按照信息处理结果，对外界环境进行响应操作，如位移、定位等
●微电子电路：对传感器采集到的信息进行处理
●微结构：具有与大尺寸结构不同的力、热、化学等方面的特性，是MEMS技术不同于大尺寸加工技术的主要原因之一。
微机电系统的意义
MEMS技术是关系到一个国家科技发展、经常繁荣、国防安全的至关重要的技术。
MEMS技术的发展将带动众多交叉学科与高新技术产业的发展。
MIEMS
●MEMS是人类科技发展过程一次重大的技术整合：微电子技术、精密加工技术、传感器技术、执行器技术
●微小型化、智能化、集成化、高可靠性
●MEMS能够完成真正意义上的微小型系统集成：在
芯片上实现了力、热、磁、化学到电的转变
●MEMS极大地改善了人类生活的质量：大批量、低成本的传感器生产方式给人们更多的保护
●MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长：微机电系统产业
ADI公司生产的微加速度计MEMS芯片
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发表于 2022-6-6 14:17
