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[资料] 半导体行业VOC气体制程管控

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发表于 2024-1-9 14:17:04 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自 广东省深圳市
    半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量有机和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境危害较为严重,如不加以控制,将会产生较大的环境污染。半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气。半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点,以挥发为主。

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    半导体行业VOCs废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序,在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇)对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一;同时,在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如醋酸丁酯等,在晶片处理过程中也要挥发到大气中,是有机废气产生的又一来源。
      半导体生产制程包含精密的微机电和集成电路,对于生产环境之洁净度的要求特别严格,因此整个制造过程都必须在严格控制的环境条件下进行。 随着制程特征尺寸(feature size)快速缩小,洁净室环境空气质量的要求也更为严苛。对于半导体制程VOC的监测以下几个环节:全厂环境监测;滤网效能检测;制程中晶圆搬运盒洁净度检测;厂内主要气质检测;制程污染鉴定等。


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     在这里,深圳新世联科技有限公司给大家推荐一款VOC气体传感器PID-AH5, PID-AH5传感器的英国Alphasense公司研发的光离子化传感器专门用于检测VOCs气体的传感器,该传感器是一款简单的即插即用式传感器,能在多种不同应用中对数千种挥发性有机物(VOCS)提供动态且可靠的响应。该传感器专为扩散式和在线式泵吸式设计,提供出色的响应时间和清除率,采用特殊亮度和稳定性的灯泡,能够在较长时间内可靠地检测挥发性弱和不易检测的化合物。


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          PID-AH5传感器的主要性能如下:
          线性范围:1ppb-40ppm(异丁烯)
          T90响应时间:2s
          典型灵敏度:50mV/ppm
          灯泡能量:10.6ev
          功耗:80mW-200mW(取决于供电电压)
          供电电压:3.2-5.5VDC
          输出信号:0.040-2.85V



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